ウェーハ剝離と洗浄を組み合わせた裝置です。 裝置は自動(dòng)的に洗浄され、ウェハは接著シートから取り外され、ウェハをボックスに保管する全プロセスが行われ、既存のミクロトームの接著ボードと互換性があります。