是就晶圓外周成形及notch成形進(jìn)行倒角的設(shè)備。本設(shè)備是根據(jù)高精度的數(shù)字控制方式研制而成的，能精確且高效率的加工晶片，每臺裝置配有兩個研削部，每個研削部均有粗磨及精磨的功能，因此可同時研削兩片。使用機械臀取片，光學(xué)傳感器進(jìn)行晶片位置校準(zhǔn)，加工完成品后，通過旋轉(zhuǎn)干燥的方式在干燥狀態(tài)下，回收至stack內(nèi)部。具有反饋厚度，倒角等加工數(shù)據(jù)的功能，能夠進(jìn)行調(diào)整使上下倒角一致。可以對晶片進(jìn)行外周加工、OF邊、notch加工，可以加工異形形狀，可以在A、B兩個臺面分別同時加工不同品種的工件。