是就晶圓外周成形及notch成形進行倒角的設備。本設備是根據(jù)高精度的數(shù)字控制方式研制而成的，能精確且高效率的加工晶片，每臺裝置配有兩個研削部，每個研削部均有粗磨...

可拋光8”以及12”晶圓的外周。本設備拋光鼓安裝風葉和杠桿機構，當拋光鼓旋轉(zhuǎn)時，風的阻力作用在風葉上，帶動杠桿產(chǎn)生擺動，從而貼在杠桿上的拋光布壓向硅片的力大小產(chǎn)...